檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="單晶矽" and year="101"
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本文發展之分子靜力學三維準穩態奈米級切削模擬模式,進行以AFM探針之圓錐刀具奈米切削第一道次及第二道次之單晶矽V型溝槽之模擬分析,並探討AFM探針之圓錐刀具對第一道次及第二道次不同的切削深度切削單晶…