簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="單晶矽" and year="101"


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    AFM探針切削單晶矽V型溝槽之下壓力和切削力及塑性熱源產生溫度分佈模擬分析
    • /101/ 碩士
    • 研究生: 王建鈞 指導教授: 林榮慶
    • 本文發展之分子靜力學三維準穩態奈米級切削模擬模式,進行以AFM探針之圓錐刀具奈米切削第一道次及第二道次之單晶矽V型溝槽之模擬分析,並探討AFM探針之圓錐刀具對第一道次及第二道次不同的切削深度切削單晶…
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    • 全文公開日期 2018/07/31 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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